项目获奖情况：国家科技进步奖二等奖

获奖单位：中国计量科学研究院、清华大学

项目基本情况：项目来源：“十五”重大基础研究专向

项目获奖时间：2011年

知识产权状况：发明专利、实用新型专利、成果验收

创新类型：原始创新

所属专业：计量专业

所属方向：物理计量

项目简介：

本项目提出并实现一种超高准确度测长方法："机械扫描"相移干涉法。（1）基于超高Q因素的弹性铰链结构在单体石英装置上实现了3倍于国际上"激光变频法"的相移周期，大幅提高了测量准确度；（2）在国际上首次提出"新五幅算法"，实现了相位解算准确度优于0.03nm的重大理论突破。通过引入"相移控制偏差"将传统算法理论在技术上难以实现的绝对步长控制转变成易于实现且准确度更高的步长测量；提出"迭代逼近"算法实现将双光束理论成果用于多光束相位解算，几乎完全消除了解算误差；（3）本项目在温度测控技术，信号去噪技术、氧化层厚度测量技术、密度量值传递技术等方面均有重要创新。

    "机械扫描"相移干涉方法是NA测量重大技术突破，拥有完全知识产权，填补了国际该领域空白。利用该项技术在国际上首次以"激光变频"之外的方法建立了我国的固体密度基准，准确度达2×10-7（k=2），处于国际先进水平前列。该项成果发表引起巨大国际反响，国际NA工作组主席Becker博士专程到访实验室，称赞该项成果为"一项杰出的科学成就"。2009年该项成果报告会在PTB引起强烈反响，随后与PTB签署了2年的NA合作研究协议。本项目获得发明专利7项（3项授权，4项公开含1项国际发明专利），独立发表论文37篇，其中国际发表18篇，SCI收录11篇，EI收录25篇。

获奖人：罗志勇，李岩，杨丽峰，顾英姿，曲士良，郭立功，张继涛，李艳华，丁京鞍，陈朝晖

推荐单位联系人及电话：徐学林 01064524250